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Mikroelektromechanisches System

Ein MEMS fungiert als Gerät, Bauteil oder Baugruppe im Miniaturformat (im Micrometer-Bereich). MEMS können wie Halbleiterkomponenten billig und in Massen produziert werden. Bei einem derartigen Mikrosystem befindet sich auf einem Chip meist Sensoren, Steuerungselektronik und Aktoren. Daneben gibt es auch Systeme auf Kunststoff-Basis. Neben dem Vorteil der Miniaturisierung sind sie oft energiesparender als herkömmliche Bauelemente.

MEMS werden oftmals mit "Generativen Fertigungsverfahren" hergestellt.
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Internationaler Begriff
Microelectromechanical systems

Synonym

Acronym
MEMS

Beispiel
Mikroelektromechanische Systeme kommen als Gyroskope oder Accelerometer in Handys, Smartphones, Tablets oder Spielekonsolen zum Einsatz

Siehe auch